Matroids Matheplanet Forum Index
Moderiert von trunx pet
Physik » Chemie » Trockenätzen von Galliumarsenid
Druckversion
Druckversion
Antworten
Antworten
Autor
Universität/Hochschule Trockenätzen von Galliumarsenid
Physiker123
Aktiv Letzter Besuch: im letzten Monat
Dabei seit: 16.02.2016
Mitteilungen: 523
Zum letzten BeitragZum nächsten BeitragZum vorigen BeitragZum erstem Beitrag  Themenstart: 2020-02-25


Hallo zusammen,
beim plasmaunterstützen reaktiven Ionenätzen von Galliumarsenid \(GaAs\) wird Siliziumtetrachlorid \(SiCl_4\) verwendet. Welche Produkte bilden sich hierbei? Läuft die Reaktion vielleicht unter der Bildung von Zwischenprodukten ab? Es wäre möglich, dass der Reaktor mit Silizium, Kohlenstoff, Wasser und Sauerstoff kontaminiert ist. Als Inertgas wurde außerdem Argon verwendet. Wie wirkt sich die Zugabe von Stickstoff aus?

Vielen Dank



Eine Notiz zu diese Forumbeitrag schreiben Notiz   Profil  Quote  Link auf diesen Beitrag Link
Neues Thema [Neues Thema] Antworten [Antworten]    Druckversion [Druckversion]

 


Wechsel in ein anderes Forum:
 Suchen    
 
All logos and trademarks in this site are property of their respective owner. The comments are property of their posters, all the rest © 2001-2020 by Matroids Matheplanet
This web site was originally made with PHP-Nuke, a former web portal system written in PHP that seems no longer to be maintained nor supported. PHP-Nuke is Free Software released under the GNU/GPL license.
Ich distanziere mich von rechtswidrigen oder anstößigen Inhalten, die sich trotz aufmerksamer Prüfung hinter hier verwendeten Links verbergen mögen.
Lesen Sie die Nutzungsbedingungen, die Distanzierung, die Datenschutzerklärung und das Impressum.
[Seitenanfang]