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 Trockenätzen von Galliumarsenid |
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Physiker123
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Hallo zusammen,
beim plasmaunterstützen reaktiven Ionenätzen von Galliumarsenid \(GaAs\) wird Siliziumtetrachlorid \(SiCl_4\) verwendet. Welche Produkte bilden sich hierbei? Läuft die Reaktion vielleicht unter der Bildung von Zwischenprodukten ab? Es wäre möglich, dass der Reaktor mit Silizium, Kohlenstoff, Wasser und Sauerstoff kontaminiert ist. Als Inertgas wurde außerdem Argon verwendet. Wie wirkt sich die Zugabe von Stickstoff aus?
Vielen Dank
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Themenstart: 2020-02-25